Quartz/Glass substrate compatible with Si Substrate from Integration way to cover. Glass substrate and microfluidic process.Dry film LITHO capability.
气体传感器已广泛应用于国民生产和日常生活的方方面面，大到工业生产中的有毒气体、易燃易爆气体等的检测，小到家具环境中的有害气体的监测和报警、酒驾检测等，都展现出气体传感器的独特优势和巨大应用前景。相比传统陶瓷管气体传感器，基于先进 MEMS 技术的硅基 MEMS 气体传感器，尤其是采用金属氧化物半导体气敏材料的硅基 MEMS 气体传感器，以其具有灵敏度、响应快、体积小、功耗低、易集成、稳定性强等显著特点
惯性传感器——IMU，全称Inertial Measurement Unit，惯性测量单元，主要用来检测和测量加速度与旋转运动的传感器。其原理是采用惯性定律实现的，主要是检测和测量加速度、倾斜、冲击、振动、旋转和多自由度运动，是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件，广泛应用于消费类电子、汽车及导航等领域。基于MEMS的IMU
硅麦(MEMS-Microphone)是电容式麦克风的一种，是MEMS行业市场主要产品之一，广泛的应用于手机，蓝牙耳机，音响，笔记本等产品。MEMS硅麦克风是赛莱克斯北京的重要代工领域。
