1.MEMS与IC工艺流程对比
ꄶ
ꄶ
ꄷ
2.MEMS体硅加工工艺
ꄶ
ꄶ
ꄷ
3.MEMS表面硅加工工艺
ꄶ
ꄶ
ꄷ
4.键合技术
ꄶ
ꄶ
ꄷ
5.逐次加工
ꄶ
ꄶ
ꄷ
6.光刻工艺
ꄶ
ꄶ
ꄷ
7.刻蚀工艺
ꄶ
ꄶ
ꄷ