气体传感器已广泛应用于国民生产和日常生活的方方面面，大到工业生产中的有毒气体、易燃易爆气体等的检测，小到家具环境中的有害气体的监测和报警、酒驾检测等，都展现出气体传感器的独特优势和巨大应用前景。相比传统陶瓷管气体传感器，基于先进 MEMS 技术的硅基 MEMS 气体传感器，尤其是采用金属氧化物半导体气敏材料的硅基 MEMS 气体传感器，以其具有灵敏度、响应快、体积小、功耗低、易集成、稳定性强等显著特点